PECVD-601型: 高性能薄膜制備
應用方向:科研與教學産品優勢:高性能薄膜制備産品配置:★樣片數量及尺寸:1片Ф6英寸★沉積材料:包括并不限于矽基(Si)薄膜、碳基(C)薄膜、矽鍺合金(SiGe
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特點:高性能薄膜制備,帶有雙片樣品庫(Load-Lock) 應用方向:科研與小批量生産産品優勢:高性能薄膜制備,帶有雙片樣品庫(Load-Lock)産品配置:★樣片數量及尺寸:1片Ф6英寸★沉積材料:包括并不限于矽基(S
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特點:帶單樣品送取室(Load-Lock),特别适用P-I-N膜層沉積或類似應用 應用方向:科研與教學産品優勢:帶單樣品送取室(Load-Lock),特别适用P-I-N膜層沉積或類似應用産品配置:★樣片數量及尺寸:1片Ф6英寸★沉積材料:包括
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特點:三個沉積室+單樣品送取樣室,特别适用P-I-N膜層沉積或類似應用 應用方向:科研與小批量生産産品優勢:三個沉積室+單樣品送取樣室,特别适用P-I-N膜層沉積或類似應用産品配置:★樣片數量及尺寸:1片Ф6英寸★沉積材料:包括并不
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