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  • DISC-SP-3200型磁控濺射鍍膜機

    DISC-SP-3200型磁控濺射鍍膜機

    特點:DISC-SP-3200型:傾斜共濺射,單片送取樣室(Load-Lock) 應用方向:科研與教學 産品優勢:傾斜共濺射,單片送取樣室(Load-Lock)

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  • DISC-ICP-8100型感應耦合等離子體刻蝕機

    DISC-ICP-8100型感應耦合等離子體刻蝕機

    特點:耐氟基或更弱腐蝕性氣體,帶雙片送取樣室(Load-Lock); 應用方向:科研與教學産品優勢:耐氟基或更弱腐蝕性氣體,帶雙片送取樣室(Load-Lock)

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  • DISC-ICP-601型感應耦合等離子體刻蝕機

    DISC-ICP-601型感應耦合等離子體刻蝕機

    特點:DISC-ICP-601:耐氟基或更弱氣體腐蝕 應用方向:科研與教學産品優勢:耐氟基或更弱腐蝕性氣體産品配置:★樣片數量及尺寸:1片Ф6英寸★刻蝕材料:包括并不限于單晶矽、多晶矽、SiO2、Si3N4、Ti、

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  • DISC-IBE-150C/200C型離子束刻蝕機

    DISC-IBE-150C/200C型離子束刻蝕機

    特點:DISC-IBE-150C/200C型: 負角度刻蝕降低反污染,熱态、冷态兩種中和系統,腔體前後開門 應用方向:科研與教學産品優勢:負角度刻蝕降低反污染,熱态、冷态兩種中和系統,刻蝕腔體前後開門産品配置:★離子源種類:考夫曼離子源★離子源口徑:Φ160mm/22

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  • DISC-RIE-601反應離子刻蝕機

    DISC-RIE-601反應離子刻蝕機

    特點:DISC-RIE-601:刻蝕緩慢好控制,耐氟基或更弱氣體腐蝕 應用方向:科研與教學産品優勢:刻蝕緩慢好控制,耐氟基或更弱腐蝕性氣體産品配置:★樣片數量及尺寸:1片Ф6英寸★刻蝕材料:包括并不限于單晶矽、多晶矽、SiO2、S

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  • DISC-ICP-8101型感應耦合等離子體刻蝕機

    DISC-ICP-8101型感應耦合等離子體刻蝕機

    特點:DISC-ICP-8101:氯基專用刻蝕設備,耐氯基強腐蝕氣體,帶雙片送取樣室(Load-Lock) 應用方向:科研與教學産品優勢:耐氯基強腐蝕氣體,帶雙片送取樣室(Load-Lock)産品配置:★樣片數量及尺寸:1片Ф6英寸★刻蝕材料:包括并不限于GaN、Ga

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  • DISC-RIE-8100型反應離子刻蝕機

    DISC-RIE-8100型反應離子刻蝕機

    特點:DISC-RIE-8100:刻蝕速率控制方便,耐氟基或更弱腐蝕性氣體,帶雙片送取樣室(Load-Lock) 應用方向:科研與教學産品優勢:刻蝕速率控制方便,耐氟基或更弱腐蝕性氣體,帶雙片送取樣室(Load-Lock)産品配置:★樣片數量及尺寸:1片Ф6英寸★刻蝕材料:

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  • DISC-RIE-8101型反應離子刻蝕機

    DISC-RIE-8101型反應離子刻蝕機

    特點:DISC-RIE-8101:氯基專用刻蝕設備,刻蝕速率控制方便,耐氯基強腐蝕氣體,帶雙片送取樣室(Load-Lock) 應用方向:科研與教學産品優勢:刻蝕速率控制方便,耐氯基強腐蝕氣體,帶雙片送取樣室(Load-Lock)産品配置:★樣片數量及尺寸:1片Ф6英寸★刻蝕材料:

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