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特點： 負角度刻蝕降低反污染，熱态、冷态兩種中和系統，腔體前後開門 應用方向：科研與教學産品優勢：負角度刻蝕降低反污染，熱
特點： 負角度片狀樣品刻蝕，冷态中和系統 應用方向：科研與教學産品優勢：負角度刻蝕，冷态中和系統 産品配置：★離子源種類：考夫曼離子源
特點：反應離子束刻蝕設備，離子束物理刻蝕能力+化學反應能力+化學輔助刻蝕能力應用方向：科研與教學産品優勢：離子束物理刻蝕能力+化學反應能力
特點： 負角度片狀+棒狀樣品刻蝕，冷态中和系統，刻蝕大尺寸樣品 應用方向：科研與小批量生産産品優勢：負角度片狀+棒狀樣品刻蝕，冷态中
特點：反應離子束刻蝕設備，離子束物理刻蝕能力+化學反應能力+化學輔助刻蝕能力 應用方向：科研與教學産品優勢：離子束物理刻蝕能力+化學反應能
